Tuesday 20
11:30-12:00 | 3D scaling of Si-IGBT
H. Iwai1, K. Kakushima1, T. Hoshii1, K. Tsutsui1, A. Nakajima2, S. Nishizawa3, H. Wakabayashi1, I. Muneta1, K. Sato4, T. Matsudai5, W. Saito5, T. Saraya6, K. Itou5, M. Fukui6, S. Suzuki6, M. Kobayashi6, T. Takakura6, T. Hiramoto6, A. Ogura7, Y. Numasawa7, I. Omura8, and H. Ohashi1 1Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Japan |